一种精炼冶金硅的杂质含量检测分析方法_有色金属行业知识产权公共服务平台

一种精炼冶金硅的杂质含量检测分析方法

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专利号：

CN200710132843.7

专利权人性质：

申请/专利权人：

苏州阿特斯阳光电力科技有限公司

专利类型：

发明申请

技术领域：

有色金属

申请日：

2007-10-08

法律状态：

授权

技术成熟度：

专利详情：

CN101131371A

技术应用前景：

专利摘要：

本发明公开了一种精炼冶金硅的杂质含量检测方法，包括如下步骤：(1)在所需检测的晶棒或晶锭上沿结晶方向选取测量点，测定电阻率，获得电阻率随结晶分数分布的实测值；(2)给出每个测量点的硼和磷含量的预估值，算出预估净余载流子浓度，以及该点的实测净余载流子浓度；(3)比较各个测量点的净余载流子浓度实测值和预估值，调整硅材料中的杂质含量预估值，获得新的每个测量点预估净余载流子浓度，通过回归分析法确定硼和磷的杂质含量分布情况；(4)根据各个测量点的杂质分布情况，得出待测材料中的硼和磷的平均杂质含量。本发明能够准确地测出精炼冶金硅中硼和磷的杂质含量，且操作简便，成本低廉，适于工业化应用。